Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия /
Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия /
И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион и др.
- Москва : Энергия, 1978.
- 136 с. : ил.
Газовая эпитаксия
Газовая эпитаксия