Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион и др. - Москва : Энергия, 1978. - 136 с. : ил.



Subjects--Topical Terms:
Газовая эпитаксия