Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом : Обзоры по электронной технике / Ч. 1 : Д.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. - 85 с. рис., табл. - Полупроводниковые приборы Вып. 11 (331) .

Библиогр.: с. 77 - 85 (129 назв.).

Subjects--Topical Terms:
Термическое оборудование