Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов / Дж.Р. Брюэр и др. ; Под ред. Дж.Р. Брюэра ; Пер. с. англ. Ф.П. Пресса. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил.

Библиогр.: с. 316 - 328.



Subjects--Topical Terms:
Изготовление микроэлектронных приборов