Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Чистяков, Юрий Дмитриевич

Физико-химические основы технологии микроэлектроники : Учебное пособие для вузов / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. - Москва : Металлургия, 1979. - 408 с. : ил., табл.

Библиогр.: с. 400 - 403; Предмет. указ.: с. 404 - 405

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника