Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Резвый, Р.Р.

Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике : Обзоры по электронной технике / Р.Р. Резвый, М.С. Финарев; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Электроника, 1977. - 80 с. ил. - Серия 2. Полупроводниковые приборы .

Библиогр.: с. 71 - 80 (126 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковая микроэлектроника