Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем: Обзоры /
Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем: Обзоры /
Сост. Л.В.Попова; Мин-во электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИТЭИ, 1967.
- 16 с.
Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Полупроводниковые приборы и микроэлектроника