Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько и др.; АН СССР, Ин-т химии силикатов им. Гребенщикова. - Ленинград : Наука. Ленингр. отд-ние, 1972. - 115 с. : рис.

Библиогр.: с. 107 - 113 (108 назв.).

Subjects--Topical Terms:
Пленки в микроэлектронике