Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Петрова, Л.В.

Ионное легирование при изготовлении МОП-структур : Обзоры по электронной технике / Л.В. Петрова; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Электроника, 1971. - 32 с. рис. - Полупроводниковые приборы Вып. 7 (289) .

Библиогр.: с. 21 - 30.

Subjects--Topical Terms:
Ионное легирование