Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Оборудование полупроводникового производства / П.Н. Масленников и др. ; Под ред. П.Н. Масленникова. - Москва : Радио и связь, 1981. - 336 с. : ил.

Библиогр. с. 330 - 333 (91 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Оборудование полупроводникового производства