Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Моряков, Олег Сергеевич

Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : Учебник для средн. проф.-техн. училищ / О.С. Моряков. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1976. - 319 с. ил.

Библиогр.: с. 316

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковая электроника