Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Моряков, Олег Сергеевич.

Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : Учебник для профтехучилищ / О.С. Моряков. - Москва : Высшая школа, 1974. - 141 с. : ил. - Профтехобразование. Полупроводники .

Библиогр.: с. 139.

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковое производство - Термические процессы