Метрологические проблемы микроэлектроники :
Метрологические проблемы микроэлектроники : Тезисы докладов: Всесоюзная научно-техническая конференция (июнь 1991, Менделеево) /
Всесоюзное НТО радиотехники, электроники и связи.
- Москва : Радио и связь, 1991.
Конференция - тезисы докладов
Конференция - тезисы докладов