Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике : Обзоры по электронной технике /
Кузнецов, Г.Ф.
Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике : Обзоры по электронной технике / Г.Ф. Кузнецов, С.А. Семилетов; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. - 94 c. - Микроэлектроника .
Библиогр.: с. 86 - 94 (170 назв.)
Эпитаксиальные и поликристаллические пленки в микроэлектронике
Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике : Обзоры по электронной технике / Г.Ф. Кузнецов, С.А. Семилетов; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975. - 94 c. - Микроэлектроника .
Библиогр.: с. 86 - 94 (170 назв.)
Эпитаксиальные и поликристаллические пленки в микроэлектронике