Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Киреев, В.Ю.

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1983. - 128 c. : ил. - Массовая бибилиотека инженера "Электроника" Вып. 36 .

Библиогр.: с. 121 - 125(92 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электроника