Диэлектрические пленки в микроэлектронике /
Корзо, Виктор Федорович
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В.Ф. Корзо, В.Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 368 с. : ил. - Электронное материаловедение .
Микроэлектроника
Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В.Ф. Корзо, В.Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 368 с. : ил. - Электронное материаловедение .
Микроэлектроника