Автоматизированные линии для производства интегральных схем :
Катунина, Юлия Анатольевна.
Автоматизированные линии для производства интегральных схем : Обзоры по электронной технике / Ю.А. Катунина, Б.К. Афанасьев; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. - 58 с. рис., граф., табл. - Технология, организация производства и оборудование Вып. 14 (130) .
Библиогр.: с. 56 - 57 (59 назв.).
Производство интегральных схем
Автоматизированные линии для производства интегральных схем : Обзоры по электронной технике / Ю.А. Катунина, Б.К. Афанасьев; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. - 58 с. рис., граф., табл. - Технология, организация производства и оборудование Вып. 14 (130) .
Библиогр.: с. 56 - 57 (59 назв.).
Производство интегральных схем