Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Каверзнев, В.А.

Статическое электричество при производстве полупроводниковых изделий : Обзоры по электронной технике / В.А. Каверзнев, Ю.А. Овечкин, В.М. Петров; Мин-во электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. - 38 с. ил., схем. - Технология и организация производства, оборудование. Вып. 20 .

Библиогр.: 34 - 37 (54 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электротехника