Ионно - лучевая модификация полупроводников и других материалов микроэлектроники: Всесоюзная конференция /
Ионно - лучевая модификация полупроводников и других материалов микроэлектроники: Всесоюзная конференция /
Научный Совет АН СССР по проблеме "Физика и химия полупроводников" Сибирское отделение АН АССР Институт физики полупроводников СО АН СССР.
- Новосибирск : Б. и., 1991.
Микроэлектроника
Микроэлектроника