Полимерные резисты для электронолитографии: Обзоры по электронной технике /
Глазштейн, Л.Я.
Полимерные резисты для электронолитографии: Обзоры по электронной технике / Л.Я. Глазштейн, А.П. Кораблин; Под ред. С.А. Иноземцев; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. - 154 с. ил. - Полупроводниковые приборы вып. 12(57) .
Элетронолитография
Полимерные резисты для электронолитографии: Обзоры по электронной технике / Л.Я. Глазштейн, А.П. Кораблин; Под ред. С.А. Иноземцев; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972. - 154 с. ил. - Полупроводниковые приборы вып. 12(57) .
Элетронолитография