Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Данилин, Б.С.

Ионное травление микроструктур / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев; Ред. М.В. Ларионова. - Москва, Электроника, 1979. - 104 с. ил. - Массовая библиотека инженера "Электроника" 21 .

Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Электроника