Микрометаллургия в микроэлектронике :
Дорфман, В.Ф.
Микрометаллургия в микроэлектронике : Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении / В.Ф. Дорфман. - Москва : Металлургия, 1978. - 272 с. : ил., табл.
Микрометаллургия
Микрометаллургия в микроэлектронике : Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении / В.Ф. Дорфман. - Москва : Металлургия, 1978. - 272 с. : ил., табл.
Микрометаллургия