Лазерные технологии в микроэлектронике =
Вейко, Вадим Павлович
Лазерные технологии в микроэлектронике = Laser technologies in microelectronics / Laser technologies in microelectronics В.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. - София : Изд-во Болг. акад. наук, 1991. - 363 с. ил.
Библиогр.: с. 343-361
Микроэлектроника - Лазерные технологии
Лазерные технологии в микроэлектронике = Laser technologies in microelectronics / Laser technologies in microelectronics В.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. - София : Изд-во Болг. акад. наук, 1991. - 363 с. ил.
Библиогр.: с. 343-361
Микроэлектроника - Лазерные технологии