Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Технологии и методы исследования структур КНИ / Б.Ю.Богданович, В.И.Графутин, В.В.Калугин и др.; М-во образования РФ. М-во РФ по атом. энергии. Моск. гос. ин-т электр. техники ( техн. ун-т ). МИФИ ( гос. ун-т ). ФГУП ГНЦ РФ ин-т теорет. и эксперимент. физики. - Москва : МИЭТ, 2003. - 288 с. граф., рис., табл. ; 22 см.

Библиогр. в конце глав.

ISBN: 5-7256-0320-2

Subjects--Topical Terms:
Электроника
Микроэлектроника
Структуры "кремний на изоляторе" ( КНИ )