Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Получение и свойства тонких пленок : Сб. науч. тр. / АН УССР. Ин-т пробл. материаловедения им. И.Н. Францевича ; Науч. совет АН УССР по пробл. "Физика твердого тела" ; Редкол.: А.Ф. Андреева (отв. ред.) и др. - Киев : ИПМ, 1990. - 132 с. ил.

Библиогр. в конце тр.

ISBN: 5-7702-0139-8

Subjects--Topical Terms:
Пленки тонкие--Микроэлектроника

Subjects--Index Terms: Пленки тонкие - Сборники