Фотолитография и оптика И.Н. Рубцов и др. ; Под ред. Я.А. Федотова, Г. Поля.
Фотолитография и оптика И.Н. Рубцов и др. ; Под ред. Я.А. Федотова, Г. Поля.
- Берлин ; Советское радио : 1974 . Москва : Техника,
- 391 с.
Оптика
Фотолитография
Оптика
Фотолитография