Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов : Конспект лекций /
Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов : Конспект лекций /
А.И. Беляев ; Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра производства чистых металлов и полупроводниковых материалов.
- Москва : Б. и., 1965.
- 253 с. : черт. ; 21 см.
- 669.2 (NLA) .
Библиогр.: с. 249-250
Металлы химически чистые--Получение--Физико-химические основы
Полупроводники--Очистка--Физико-химические основы
669.2 (NLA)
Библиогр.: с. 249-250
Металлы химически чистые--Получение--Физико-химические основы
Полупроводники--Очистка--Физико-химические основы
669.2 (NLA)