Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Фото-, электроно-и и рентгенолитография в производстве интегральных схем : Тематические указатели литературы / М-во электронной пром-ти СССР ; [Сост. Р.А.Карпович]. - [Москва] : [Электроника], 1975. - 119 с. ; 20 см. - Серия 7 "Технология, организация производства. Оборудование ; Вып. 10 (143) . - 77 (NLA) .

Universal Decimal Class. No.: 77 (NLA)