Фотолитография и оптика /
Фотолитография и оптика /
Fotolitografie und Optik
И.Н. Рубцов и др. ; Под ред. Я.А. Федотова, Г. Поля.
- Берлин ; Москва : Советское радио : Техника, 1974.
- 392 с. : ил., табл.
Список лит. : с. 385388
Оптика
Фотолитография
Список лит. : с. 385388
Оптика
Фотолитография