Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Пресс, Ф.П.

Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов / Ф.П. Пресс. - Москва : Энергия, 1968. - 200 с. : ил.

Subjects--Topical Terms:
Фотолитография