Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей /
Миттова, Ирина Яковлевна
Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей / И.Я. Миттова ; И.К. Маршаков. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1987. - 200 с.
Примеси
Термическое окисления
Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей / И.Я. Миттова ; И.К. Маршаков. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1987. - 200 с.
Примеси
Термическое окисления