Физика субмикронной литографии /
Валиев, Камиль Ахметович
Физика субмикронной литографии / К.А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 527,[1] с.
Библиогр. в конце глав
5-02-014381-2
Микролитография
Физика субмикронной литографии / К.А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 527,[1] с.
Библиогр. в конце глав
5-02-014381-2
Микролитография