Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Грановский, Ю. В.

Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемых в полупроводниковой технике / Ю. В. Грановский. - Москва : Отд. науч.-техн. информации, 1960. - 73 с. : ил. ; 21 см. - Информация/ Главниипроект при Госплане СССР. Гос. науч.-исслед. и проектный ин-т редкометаллич. пром-сти "Гиредмет"; 1 (12)). . - 66.07 (NLA) .

Subjects--Topical Terms:
Газы природные --Очистка

Universal Decimal Class. No.: 66.07 (NLA)