Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем : Сборник научных трудов / М-во высшего и сред. спец. образ. СССР; Моск. ин-т электронной техники. - Москва : Б. и., 1983. - 100 с. : черт., табл. ; 20 см. - 621.38 (NLA) .

Библиогр. после работ

Subjects--Topical Terms:
Интегральные схемы--Производство

Universal Decimal Class. No.: 621.38 (NLA)