Техника изготовления фотошаблонов-трафаретов для производства кремниевых интегральных схем /
Малин, Б.В.
Техника изготовления фотошаблонов-трафаретов для производства кремниевых интегральных схем / Б.В. Малин ; Мин. электронной промышл. СССР. - Москва : ЦНИИ «Электроника», 1972. - 158 с.: черт., табл ; 21 см. - Обзоры по электронной технике Серия : Микроэлектроника Выпуск 4(302) . - 621.38 (NLA) .
Микроэлектроника
621.38 (NLA)
Техника изготовления фотошаблонов-трафаретов для производства кремниевых интегральных схем / Б.В. Малин ; Мин. электронной промышл. СССР. - Москва : ЦНИИ «Электроника», 1972. - 158 с.: черт., табл ; 21 см. - Обзоры по электронной технике Серия : Микроэлектроника Выпуск 4(302) . - 621.38 (NLA) .
Микроэлектроника
621.38 (NLA)