Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов :
Котенко, Георгий Иванович
Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции / Г. И. Котенко ; М-во высш. и сред. спец. образ. РСФСР , Ленинградский ин-т авиационного приборостроения - Л. : Ленингр. электротехн. ин-т, 1979. - 59 с. : ил. ; 20 см. - 621.38 (NLA) .
В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
Библиогр.: с. 58 (7 назв.)
Микроэлектронные схемы
621.38 (NLA)
Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции / Г. И. Котенко ; М-во высш. и сред. спец. образ. РСФСР , Ленинградский ин-т авиационного приборостроения - Л. : Ленингр. электротехн. ин-т, 1979. - 59 с. : ил. ; 20 см. - 621.38 (NLA) .
В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
Библиогр.: с. 58 (7 назв.)
Микроэлектронные схемы
621.38 (NLA)