Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии :
Качурина, Евгения Ефимовна
Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии : (Реферативно-аналитический обзор) / Е.Е. Качурина, Л.Н. Немировский, В.В. Щеглова ; Министерство электронной промышленности. - Москва : [б. и.], 1976. - 66 с. : ил. ; 21 см. - Обзоры по электронной технике ; Серия 2 . Полупроводниковые приборы ; Вып. 9. . - 621.38 .
Библиогр.: с. 56-66.
Электронная техника.
621.38
Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии : (Реферативно-аналитический обзор) / Е.Е. Качурина, Л.Н. Немировский, В.В. Щеглова ; Министерство электронной промышленности. - Москва : [б. и.], 1976. - 66 с. : ил. ; 21 см. - Обзоры по электронной технике ; Серия 2 . Полупроводниковые приборы ; Вып. 9. . - 621.38 .
Библиогр.: с. 56-66.
Электронная техника.
621.38