Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Грищенко, Анатолий Федорович

Ионное легирование в микроэлектронике : Учебное пособие для средних ПТУ / А.Ф. Грищенко. - Москва : Высшая школа, 1985. - 48 с. : черт., табл. ; 20 см. - Профессионально-техническое образование . - 621.38 (NLA) .

Библиогр.: с. 47-48 (9 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника

Universal Decimal Class. No.: 621.38 (NLA)