Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Деркач, В.П.

Электроннозондовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике / В.П. Деркая, Г.Ф. Кияшко, М.С. Кухарчук ; АН Украинской ССР , Ин-т кибернетики , Секция «Физико-технологичесйие вопросы кибернетики». - Киев : [Б.и.], 1973. - 34 с. : черт. ; 20 см. - 621.38 (NLA) .

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектроника

Universal Decimal Class. No.: 621.38 (NLA)