Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Боков, Юрий Сергеевич

Фото-, электронно- и рентгенорезисты / Ю. С. Боков ; Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. ; 21 см. - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры. . - 621.38 .

На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА.

Библиогр.: с. 129-135 (155 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Фотолитография.
Микроэлектронные схемы--Производство.

Universal Decimal Class. No.: 621.38