Научая конференция "Физические основы ионно-лучевого легирования" :
Научая конференция "Физические основы ионно-лучевого легирования" : Тезисы докладов /
М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т "ГИФТИ".
- Горький : [б. и.], 1971.
- 62 с. ; 19 см.
Полупроводники--Легирование ионнное--Тезисы докладов
Полупроводники--Легирование ионнное--Тезисы докладов