Технология размерной обработки полупроводниковых материалов :
Комов, Александр Николаевич
Технология размерной обработки полупроводниковых материалов : Учебное пособие / А. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеев ; Куйбышевский государственный университет. - Куйбышев : Куйбышев. ун-т, 1976. - 83 с. : ил. ; 20 см. - 621.315 .
Полупроводники --Обработка.
621.315
Технология размерной обработки полупроводниковых материалов : Учебное пособие / А. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеев ; Куйбышевский государственный университет. - Куйбышев : Куйбышев. ун-т, 1976. - 83 с. : ил. ; 20 см. - 621.315 .
Полупроводники --Обработка.
621.315