Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Титов, В.В.

Имплантационное легирование полупроводников / В.В. Титов ; М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника". - Москва : Б. и., 1974-. - Ч. ; 21 см. - Обзоры по электронной технике : Вып. 10(223) . - Обзоры по электронной технике : Вып. 10(223) .

Ч. 1. (1974 ; 63 с.)

Subjects--Topical Terms:
Полупроводниковые приборы