Технология полупроводниковых материалов :
Нашельский, Александр Яковлевич
Технология полупроводниковых материалов : Учеб. пособие для повышения квалификации и переподгот. мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового пр-ва / А. Я. Нашельский. - М. : Металлургия, 1987. - 334,[1] с. : ил. ; 21 см.
Предм. указ.: с. 333-335 Библиогр.: с. 331-332
Полупроводниковые--Производство--Учебники и пособия
Технология полупроводниковых материалов : Учеб. пособие для повышения квалификации и переподгот. мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового пр-ва / А. Я. Нашельский. - М. : Металлургия, 1987. - 334,[1] с. : ил. ; 21 см.
Предм. указ.: с. 333-335 Библиогр.: с. 331-332
Полупроводниковые--Производство--Учебники и пособия