Вакуумная техника в производстве интегральных схем.Под общей ред. Р. А. Нилендера/
Данилин Б. С. .
Вакуумная техника в производстве интегральных схем.Под общей ред. Р. А. Нилендера/ Данилин Б. С. - Москва : Энергия, 1972. - 256с. с ил.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем.Под общей ред. Р. А. Нилендера
Вакуумная техника в производстве интегральных схем.Под общей ред. Р. А. Нилендера/ Данилин Б. С. - Москва : Энергия, 1972. - 256с. с ил.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем.Под общей ред. Р. А. Нилендера