Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Попов, Виктор Кузьмич.

Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии / В.К. Попов, С.Н. Ячменев. - Москва : Радио и связь, 1985. - 128 с. : ил. - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры .

На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА

Библиогр. 69 назв.

Subjects--Topical Terms:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производвство - Механизация
Электронно-ионная технология