Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок : Сборник научных трудов / Отв. ред. Ф.А. Кузнецов ; АН СССР. СО. Ин-т неорганической химии. - Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние , 1988. - 198 с.

ISBN: 3.40

Subjects--Topical Terms:
Полупроводники - Кристаллы - Рост
Полупроводниковые пленки - Получение