Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем /
Харченко, Валерий Владимирович
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем / В.В. Харченко ; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. - Ташкент : Фан , 1989. - 168 с. и ; . ; 22 см.
ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1989 այլ Библиогр.: с. 157-166 (180 назв.)
5-648-00390-0
Кремний - Получение эпитаксиальных структур
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем / В.В. Харченко ; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. - Ташкент : Фан , 1989. - 168 с. и ; . ; 22 см.
ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1989 այլ Библиогр.: с. 157-166 (180 назв.)
5-648-00390-0
Кремний - Получение эпитаксиальных структур