Плазменная технология в производстве СБИС /
Плазменная технология в производстве СБИС /
Д. Толливер и др. ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; Пер. с англ. Ю.М. Золотарева и др., под ред. Е.С. Машковой.
- Москва : Мир, 1987.
- 470 с. : ил.
Электроника
Электроника