Осаждение из газовой фазы : Сокр. пер. с англ. /
Осаждение из газовой фазы : Сокр. пер. с англ. /
Vapor Deposition
Пер. М.И. Юрченко ; Под ред. К. Пауэлла и др.
- Москва : Атомиздат, 1970.
- 472 с.
Химическая технология
Химическая технология