Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Физические основы технологии микроэлектроники : Учеб. пособие / А.П. Бурмаков, П.И. Гайдук, Ф.Ф. Комаров, А.В. Леонтьев. - Минск : Изд-во Белорусского гос. ун-та, 2002. - 195 с. ил.

Библиогр.: с. 192

ISBN: 985-445-682-X

Subjects--Index Terms: Микроэлектроника - Физические основы